GB/T 11093-1989
被代替
T/ICMTIA 4.1-2020
现行
团体标准
T/ICMTIA 4.1-2020 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分：液体甲基丙烯酸酯类
T/ICMTIA 4.1-2020 The monomer for fluorinated argon resist used in integrated circuits, Part 1: Liquid methacrylate derivatives
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/ICMTIA 4.1-2020
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
合成材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2020-12-31
实施日期:
2021-03-01
归口单位:
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
范围:本文件适用于由有机原料、溶剂、适宜阻聚剂等组分合成经精制后可适用于氟化氩树脂制备用的单体; 主要技术内容:本文件规定了集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分 液体甲基丙烯酸酯类的术语和定义、产品类型和结构特点、技术要求、分析检测方法、工艺要求、包装、贮存和运输等要求
研制信息
起草单位:
徐州博康信息化学品有限公司
起草人:
傅志伟、邵严亮、贺宝元、薛春、杨影影