GB/T 11093-1989
被代替
SJ/T 11493-2015
废止
行业标准-电子
SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
SJ/T 11493-2015 The method of secondary ion mass spectrometry for measuring the nitrogen concentration in a silicon substrate
基本信息
标准编号:
SJ/T 11493-2015
标准类型:
行业标准
标准状态:
废止
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
元素半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2015-04-30
实施日期:
2015-10-01
发布单位/组织:
工业和信息化部
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
页数:
6 页
研制信息
起草单位:
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
起草人:
马农农、何友琴、何秀坤 等