GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 13843-1992
废止
国家标准
GB/T 13843-1992 蓝宝石单晶抛光衬底片
GB/T 13843-1992 Polished monocrystalline sapphire substrates
基本信息
标准编号:
GB/T 13843-1992
标准类型:
国家级标准
标准状态:
废止
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子设备与专用材料、零件、结构件
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
1992-12-28
实施日期:
1993-08-01
发布单位/组织:
国家技术监督局
页数:
9 页
研制信息
起草单位:
天津半导体技术研究所
起草人:
孙家龙、陈、张玲、紫玉琦
引用标准
GB/T 1556
GB/T 6618-1995 硅片厚度和总厚度变化测试方法
GB/T 6618-2009 硅片厚度和总厚度变化测试方法
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GB/T 1031-1995 表面粗糙度 参数及其数值
GB/T 1031-2009 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值
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GB/T 2828.1-2012 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
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采用标准
SEMI M3-1983