GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 14015-1992
现行
国家标准
GB/T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片
GB/T 14015-1992 Silicon on sapphire epitaxial wafers
基本信息
标准编号:
GB/T 14015-1992
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子设备与专用材料、零件、结构件
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
1992-12-28
实施日期:
1993-08-01
发布单位/组织:
国家技术监督局
归口单位:
页数:
8 页
研制信息
起草单位:
天津半导体技术研究所
起草人:
陈●、孙家龙、牛志强、步云英
引用标准
SJ 2446
GB/T 6624-1995 硅抛光片表面质量目测检验方法
GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法
GB/T 2828.1-2003 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T 2828.1-2012 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T 2828.2-2008 计数抽样检验程序 第2部分：按极限质量(LQ)检索的孤立批检验抽样方案
GB/T 2828.3-2008 计数抽样检验程序 第3部分：跳批抽样程序
GB/T 2828.4-2008 计数抽样检验程序 第4部分：声称质量水平的评定程序
GB/T 2828.5-2011 计数抽样检验程序 第5部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批序贯抽样检验系统
GB/T 2828.10-2010 计数抽样检验程序 第10部分：GB/T 2828计数抽样检验系列标准导则
GB/T 2828.11-2008 计数抽样检验程序 第11部分：小总体声称质量水平的评定程序
GB/T 13843-1992 蓝宝石单晶抛光衬底片
采用标准
SEMI M3-1983