GB/T 14139-1993 被代替 国家标准

GB/T 14139-1993 硅外延片

GB/T 14139-1993 Silicon epitaxial wafers

发布日期: 1993-02-06 实施日期: 1993-10-01 中国正版标准查询、采购、翻译等其他相关服务,请 联系我们

基本信息

标准编号: GB/T 14139-1993
标准类型: 国家级标准
标准状态: 被代替
is_force_gb: no
中国标准分类名称: 半金属
国际标准分类名称: 半导体材料
发布日期: 1993-02-06
实施日期: 1993-10-01
发布单位/组织: 国家技术监督局
页数: 7 页

研制信息

起草单位:

上海第二冶炼厂

起草人:

严世权、黄玉光

字数: 11 千字 页数: 7 页

被以下标准替代

引用标准

GB/T 2828.1-2003 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T 2828.1-2012 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T 2828.2-2008 计数抽样检验程序 第2部分:按极限质量(LQ)检索的孤立批检验抽样方案 GB/T 2828.3-2008 计数抽样检验程序 第3部分:跳批抽样程序 GB/T 2828.4-2008 计数抽样检验程序 第4部分:声称质量水平的评定程序 GB/T 2828.5-2011 计数抽样检验程序 第5部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批序贯抽样检验系统 GB/T 2828.10-2010 计数抽样检验程序 第10部分:GB/T 2828计数抽样检验系列标准导则 GB/T 2828.11-2008 计数抽样检验程序 第11部分:小总体声称质量水平的评定程序 GB/T 6624-1995 硅抛光片表面质量目测检验方法 GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法 GB/T 12962-1996 硅单晶 GB/T 12962-2005 硅单晶 GB/T 12962-2015 硅单晶 GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片 GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片 GB/T 13389-1992 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 GB/T 13389-2014 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法 GB/T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法 GB/T 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法 GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法 GB/T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定汞探针电容-电压法 GB/T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法 GB/T 14264-1993 半导体材料术语 GB/T 14264-2009 半导体材料术语 GB/T 14264-2024 半导体材料术语 YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法 YS/T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法 YS/T 28-1992 硅片包装 YS/T 28-2015 硅片包装 YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法 YS/T 24-1992 外延钉缺陷的检验方法 YS/T 28-2024 硅片包装和标志

采用标准

SEMI S2

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