GB/T 11093-1989
被代替
T/NXCL 28-2024
现行
团体标准
T/NXCL 28-2024 半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚
T/NXCL 28-2024 Synthetic quartz crucible used for growth of monocrystalline silicon for semiconductor grade
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/NXCL 28-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2024-02-06
实施日期:
2024-02-06
归口单位:
宁夏材料研究学会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面的内容。本文件适用于合成石英砂（成分：二氧化硅）为内层原料，采用电弧熔融法工艺生产，应用于直拉法半导体级单晶硅生长的石英坩埚
研制信息
起草单位:
宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、宁夏大学、宁夏高创特能源科技有限公司、宁夏旭樱新能源科技有限公司
起草人:
李长苏、熊欢、何玉鹏、陈荣贵、王建军、史海贝、闫素婷、陈金莲、马万保、马荣天、王黎光、芮阳、李海波、盛旺、田宝春