GB/T 3656-1983
被代替
GB/T 32282-2015
现行
国家标准
GB/T 32282-2015 氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法
GB/T 32282-2015 Test method for dislocation density of GaN single crystal—Cathodoluminescence spectroscopy
基本信息
标准编号:
GB/T 32282-2015
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属物理性能试验方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2015-12-10
实施日期:
2016-11-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
7 页
适用范围
本标准规定了用阴极荧光显微镜法测试氮化镓单晶位错密度的方法。
本标准适用于位错密度在1×103个/cm2～5×108个/cm2之间的氮化镓单晶中位错密度的测试。
研制信息
起草单位:
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司
起草人:
曾雄辉、张燚、董晓鸣、牛牧童、刘争晖、邱永鑫、王建峰、徐科