GB/T 2882-1981
被代替
GB/T 1554-1995
被代替
国家标准
GB/T 1554-1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
GB/T 1554-1995 Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques
基本信息
标准编号:
GB/T 1554-1995
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属无损检验方法
国际标准分类名称:
综合、术语学、标准化、文献
发布日期:
1995-04-18
实施日期:
1995-12-01
发布单位/组织:
国家技术监督局
页数:
12 页
研制信息
起草单位:
峨嵋半导体材料厂
起草人:
曹宗瑞、吴道荣、陈永桐、刘文魁、王鸿高
替代以下标准
GB 1554-1979
GB 4057-1983
被以下标准替代
引用标准
采用标准
ASTM F47-88