GB/T 14140.1-1993
被代替
T/CNIA 0141-2022
现行
团体标准
T/CNIA 0141-2022 多晶硅生产用氢气中金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
T/CNIA 0141-2022 Determination of Metal Impurity Content in Hydrogen Used for Polysilicon Production Using Inductively Coupled Plasma Mass Spectroscopy (ICP-MS)
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CNIA 0141-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
金属材料试验综合
发布日期:
2022-02-28
实施日期:
2022-08-01
归口单位:
中国有色金属工业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）测定多晶硅生产用氢气中钠、镁、铝、钙、铬、锰、铁、镍、铜、锌、砷、钛元素含量的方法
研制信息
起草单位:
内蒙古通威高纯晶硅有限公司、四川永祥股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、新特能源股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、青海芯测科技有限公司、江苏鑫华半导体材料科技有限公司
起草人:
袁中华、张习松、黄仕建、慕道焱、侯海波、李寿琴、楚东旭、刘翠、魏东亮、邱艳梅、王彬、岳峥、赵培芝