GB/T 11093-1989
被代替
T/CNIA 0011-2019
现行
团体标准
T/CNIA 0011-2019 气相沉积法碳化硅涂层
T/CNIA 0011-2019 Silicon carbide coating by gas phase deposition method
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CNIA 0011-2019
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
基础标准
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2019-02-13
实施日期:
2019-06-01
归口单位:
中国有色金属工业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了气相沉积法碳化硅涂层（以下简称碳化硅涂层）的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。本标准适用于以甲基三氯硅烷和氢气为主要原料，通过气相沉积法制备的碳化硅涂层。产品主要用于光伏领域石墨材料表面
研制信息
起草单位:
江苏中能硅业科技发展有限公司、江苏协鑫特种材料科技有限公司
起草人:
于伟华、王彬、田新、张春伟