GB/T 4855-1984
废止
GB/T 26113-2010
现行
国家标准
GB/T 26113-2010 微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则
GB/T 26113-2010 Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
基本信息
标准编号:
GB/T 26113-2010
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
微电路
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2011-01-10
实施日期:
2011-10-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
页数:
11 页
适用范围
本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。
本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。
研制信息
起草单位:
中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院
起草人:
丁红宇、张苹、刘伟、蒋庄德、景蔚萱、胡晓东、赵则祥
引用标准
GB/T 3505-2000 产品几何技术规范 表面结构 轮廓法 表面结构的术语、定义及参数
GB/T 3505-2009 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 术语、定义及表面结构参数
GB/T 18779.2-2004 产品几何量技术规范(GPS) 工件与测量设备的测量检验 第2部分：测量设备校准和产品检验中GPS测量的不确定度评定指南
GB/T 18779.2-2023 产品几何技术规范(GPS) 工件与测量设备的测量检验 第2部分：GPS测量、测量设备校准和产品验证中的测量不确定度评估指南
GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
GB/T 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术 术语