GB/T 4855-1984
废止
GB/T 38447-2020
现行
国家标准
GB/T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
GB/T 38447-2020 Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
基本信息
标准编号:
GB/T 38447-2020
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
微电路
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2020-03-06
实施日期:
2020-07-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
页数:
18 页
适用范围
本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。
研制信息
起草单位:
北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司
起草人:
张威、张亚婷、于振毅、陆学贵、朱悦、石云波、李海斌、程逸轩、周浩楠、陈得民