GB/T 14140.1-1993
被代替
GB/T 19921-2005
被代替
国家标准
GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法
GB/T 19921-2005 Test method of particles on silicon wafer surfaces
基本信息
标准编号:
GB/T 19921-2005
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类名称:
金属材料试验综合
发布日期:
2005-09-19
实施日期:
2006-04-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会
页数:
10 页
研制信息
起草单位:
北京有色金属研究总院
起草人:
孙燕、卢立延、董慧燕、刘红艳、翟富义
被以下标准替代
引用标准
ASTM F1620-96
ASTM F 1621-96
SEMI M1-0302