GB/T 4855-1984
废止
GB/T 14143-1993
被代替
国家标准
GB/T 14143-1993 300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法
GB/T 14143-1993 300～900μm Silicon slices—Measuring of interstitial oxygen content—Infrared absorption method
基本信息
标准编号:
GB/T 14143-1993
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属无损检验方法
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
1993-02-06
实施日期:
1993-10-01
发布单位/组织:
国家技术监督局
归口单位:
页数:
8 页
研制信息
起草单位:
机械电子工业部第四十六研究所
起草人:
何秀坤、李光平、王琴、谢重木
被以下标准替代
引用标准
采用标准
ASTM F121-83