GB/T 14140.1-1993
被代替
GB/T 1557-2006
被代替
国家标准
GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
GB/T 1557-2006 The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
基本信息
标准编号:
GB/T 1557-2006
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类名称:
金属材料试验综合
发布日期:
2006-07-18
实施日期:
2006-11-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会
页数:
7 页
适用范围
本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。 本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5 Ω·cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。 本标准测量氧含量的有效范围从1×1016at·cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。
研制信息
起草单位:
峨眉半导体材料厂
起草人:
梁洪、覃锐兵、王炎