GB/T 3656-1983
被代替
GB/T 1557-2018
现行
国家标准
GB/T 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
GB/T 1557-2018 Test method for determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
基本信息
标准编号:
GB/T 1557-2018
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2018-09-17
实施日期:
2019-06-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
10 页
适用范围
本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶晶体中间隙氧含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω·cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5 Ω·cm的P型硅单晶中间隙氧含量的测定。以常温红外设备测试时，氧含量（原子数）测试范围从1×1016 cm－3到硅中间隙氧的最大固溶度；以低温红外设备测试时，氧含量(原子数)的测试范围从0.5×1015 cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。
研制信息
起草单位:
新特能源股份有限公司、有研半导体材料有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、内蒙古盾安光伏科技有限公司、峨嵋半导体材料研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司
起草人:
银波、夏进京、邱艳梅、刘国霞、柴欢、赵晶晶、刘文明、姚利忠、王海礼、邓浩、高明、郑连基、陈赫、石宇、杨旭、肖宗杰
替代以下标准
引用标准
ASTM E131
GB/T 4059-1983 硅多晶气氛区熔磷检验方法
GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法
GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法
GB/T 4060-1983 硅多晶真空区熔基硼检验方法
GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法
GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法
GB/T 14264-1993 半导体材料术语
GB/T 14264-2009 半导体材料术语
GB/T 14264-2024 半导体材料术语
GB/T 29057-2012 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
GB/T 29057-2023 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
GB/T 35306-2017 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
GB/T 35306-2023 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法