GB/T 14140.1-1993
被代替
GB/T 8758-2006
现行
国家标准
GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
GB/T 8758-2006 Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
基本信息
标准编号:
GB/T 8758-2006
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类名称:
金属材料试验综合
发布日期:
2006-07-18
实施日期:
2006-11-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会
页数:
6 页
适用范围
本标准适用于砷化镓外延片外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阻率小于0.02Ω·cm，外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。
研制信息
起草单位:
北京有色金属研究总院
起草人:
王彤涵