GB/T 4855-1984
废止
GB/T 34899-2017
现行
国家标准
GB/T 34899-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
GB/T 34899-2017 Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy
基本信息
标准编号:
GB/T 34899-2017
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
微电路
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2017-11-01
实施日期:
2018-05-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
页数:
14 页
适用范围
本标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统(MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。本标准适用于微机电系统(MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。
研制信息
起草单位:
中北大学、中机生产力促进中心
起草人:
石云波、唐军、程红兵、崔建功、李海斌、朱悦