GB/T 11093-1989
被代替
T/QGCML 4513-2024
现行
团体标准
T/QGCML 4513-2024 高性能晶圆(晶锭)生产技术要求
T/QGCML 4513-2024 High-performance Wafer (Slice) Production Technology Requirements
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/QGCML 4513-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2024-07-26
实施日期:
2024-08-10
归口单位:
全国城市工业品贸易中心联合会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了高性能晶圆(晶锭)生产技术要求的术语和定义、生产流程、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于高性能晶圆(晶锭)的生产和检验
研制信息
起草单位:
苏州璋驰光电科技有限公司、上海璋驰光电科技有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、济南智和弘盛光电科技有限公司
起草人:
冯英俊、丁志宏、彭江龙、李鹏鹏、秦天宇、刘伟秀、冯涛、赵全勇