GB/T 11093-1989
被代替
T/ICMTIA CM0038-2024
现行
团体标准
T/ICMTIA CM0038-2024 半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚
T/ICMTIA CM0038-2024 High-purity silica crucible used for the production of semiconductor silicon single crystal
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/ICMTIA CM0038-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2024-04-25
实施日期:
2024-06-01
归口单位:
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存技术内容。本文件适用于半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚
研制信息
起草单位:
：浙江美晶新材料股份有限公司、宁夏鑫晶新材料科技有限公司、郑州合晶硅材料有限公司、山东有研半导体材料有限公司、中环领先半导体材料有限公司
起草人:
：陶飞、周勇、吴伟华、王杨柳、陈超、方志远、王洋洋、左伟仙、毛炳全、王俊仁、崔彬