GB/T 11093-1989
被代替
SJ/T 11498-2015
现行
行业标准-电子
SJ/T 11498-2015 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法
SJ/T 11498-2015 The secondary ion mass spectrometry measurement method for oxygen concentration in heavily doped silicon substrate
价格:
$ 30
基本信息
标准编号:
SJ/T 11498-2015
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
元素半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2015-04-30
实施日期:
2015-10-01
发布单位/组织:
工业和信息化部
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
页数:
6 页
研制信息
起草单位:
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
起草人:
何友琴、马农农、何秀坤 等