GB/T 11093-1989
被代替
T/NXCL 003-2021
废止
团体标准
T/NXCL 003-2021 平面硅锗靶材
T/NXCL 003-2021 Planar Silicon-Germanium Target Material
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/NXCL 003-2021
标准类型:
团体标准
标准状态:
废止
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
有色金属及其合金产品
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2021-11-11
实施日期:
2021-11-11
归口单位:
宁夏材料研究学会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了大尺寸环形硅锗靶材的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规格、标志、包装、运输、贮存等方面的内容。其中技术要求包括基本要求、材质、化学成分、物理性能、物理规格、表面质量、内部缺陷、搭接率、平面度和背板材料。试验方法包括化学成分仲裁分析方法、物理性能检验方法以及物理规格、表面质量、内部缺陷、搭接率的测量方法。检验规则包括检查和验收、组批、检验项目、仲裁取样和制样、检验结果的判定
研制信息
起草单位:
宁夏高创特能源科技有限公司、厦门大学、北方民族大学、宁夏大学、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、大工（青岛）新能源材料技木研究院有限公司
起草人:
安百俊、罗学涛、盛旺、黄柳青、杨少林、吴建栋、卢辉、侯春平、马金福、杜江华、高忙忙、盛之林、顾燕滨、姜永庆、王黎光、芮阳、姜大川、郭校亮