GB/T 3656-1983
被代替
YS/T 23-2016
现行
行业标准-有色金属
YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
YS/T 23-2016 Test method for thickness of epitaxial layers—Stacking fault size
基本信息
标准编号:
YS/T 23-2016
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属物理性能试验方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2016-04-05
实施日期:
2016-09-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)
页数:
7 页
适用范围
本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。
本标准适用于在111、100和110晶向的硅单晶衬底上生长的2 μm～120 μm硅外延层厚度的测量。
研制信息
起草单位:
南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
起草人:
马林宝、杨帆、葛华、刘小青、孙燕、徐新华