GB/T 14847-1993 被代替国家标准

GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

GB/T 14847-1993 Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance

发布日期: 1993-12-24 实施日期: 1994-09-01 中国正版标准查询、采购、翻译等其他相关服务，请联系我们

基本信息

标准编号: GB/T 14847-1993

标准类型: 国家级标准

标准状态: 被代替

is_force_gb: no

中国标准分类名称: 金属物理性能试验方法

国际标准分类名称: 半导体材料

发布日期: 1993-12-24

实施日期: 1994-09-01

发布单位/组织: 国家技术监督局

页数: 7 页

研制信息

起草单位:

机电部四十六所和上海第二冶炼厂

起草人:

何秀坤、李光平、叶裕宗、严世权、王琴、张志刚、钱国胜

字数: 12 千字 页数: 7 页

被以下标准替代

GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

引用标准

GB/T 6379-1986 测试方法的精密度通过实验室间试验确定标准测试方法的重复性和再现性 GB/T 6379.1-2004 测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第1部分：总则与定义 GB/T 6379.2-2004 测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第2部分：确定标准测量方法重复性与再现性的基本方法 GB/T 6379.3-2012 测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第3部分：标准测量方法精密度的中间度量 GB/T 6379.4-2006 测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第4部分：确定标准测量方法正确度的基本方法 GB/T 6379.5-2006 测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第5部分：确定标准测量方法精密度的可替代方法 GB/T 6379.6-2009 测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第6部分：准确度值的实际应用 GB/T 6379.4-2025 测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第4部分：确定标准测量方法正确度的基本方法

采用标准

ASTM F95-89

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