GB/T 11093-1989
被代替
T/CAS 304-2018
现行
团体标准
T/CAS 304-2018 磁控溅射硅靶材及绑定靶材
T/CAS 304-2018 Magnetron sputtering silicon target and bonding target material
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CAS 304-2018
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
磁性元器件
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2018-05-29
实施日期:
2018-05-29
归口单位:
中国标准化协会
适用范围
范围:本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。 本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射硅靶材; 主要技术内容:本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射硅靶材
研制信息
起草单位:
青岛蓝光晶科新材料有限公司、大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司、河北东同光电科技有限公司、大连理工大学
起草人:
张磊、姜大川、崔娜、李鹏廷、谭毅、顾正、石爽、康明生、朱辉、郄奕、张卫、姚玉杰、陈良杰、李云飞、王登科