GB/T 3656-1983
被代替
GB/T 32278-2015
被代替
国家标准
GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法
GB/T 32278-2015 Test method for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers
基本信息
标准编号:
GB/T 32278-2015
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属物理性能试验方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2015-12-10
实施日期:
2017-01-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
8 页
适用范围
本标准规定了碳化硅单晶抛光片的平整度，即总厚度变化（TTV)、局部厚度变化（LTV)、弯曲度（Bow)、翘曲度（Warp)的测试方法。本标准适用于直径为50.8 mm、76.2 mm、100 mm，厚度0.13 mm～1 mm碳化硅单晶抛光片平整度的测试。
研制信息
起草单位:
北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所
起草人:
陈小龙、郑红军、张玮、郭钰