GB/T 14140.1-1993
被代替
T/CNIA 0060-2020
现行
团体标准
T/CNIA 0060-2020 多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法
T/CNIA 0060-2020 The determination of phosphorous hydride content in hydrogen used for polycrystalline silicon by gas chromatography
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CNIA 0060-2020
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
无机酸、碱
国际标准分类名称:
金属材料试验综合
发布日期:
2020-05-27
实施日期:
2020-08-01
归口单位:
中国有色金属工业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了多晶硅用氢气中磷化氢含量的气相色谱测定方法。本标准适用于多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定，测定范围为0.02×10-9～1×10-5(v/v)
研制信息
起草单位:
宜昌南玻硅材料有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司
起草人:
刘文明、孟凡江、田洪先、高明、刘强、黄宗武、赵英、姜海明