GB/T 6001-1985
现行
DB32/T 4378-2022
现行
江苏省地方标准
DB32/T 4378-2022 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法
DB32/T 4378-2022 The non-destructive testing of the bulk resistance of thin films on the surface of the substrate at nanometer and sub-micrometer scales using four-probe method
基本信息
标准编号:
DB32/T 4378-2022
标准类型:
地方标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
种子、苗木、苗圃
国际标准分类名称:
绿化和造林
发布日期:
2022-10-23
实施日期:
2022-11-23
发布单位/组织:
江苏省市场监督管理局
归口单位:
江苏省石墨烯检测标准化技术委员会
页数:
12 页
适用范围
本文件规定了采用导电橡胶探头进行衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻四探针无损测试的方法。本文件适用于目测平坦且表面存在纳米、亚微米尺度薄膜样品的方块电阻测定，方块电阻测试范围为1×10-4 Ω~1×104 Ω。
研制信息
起草单位:
江苏省特种设备安全监督检验研究院[国家石墨烯产品质量检验检测中心(江苏)]、苏州晶格电子有限公司、河南煜和科技集团有限公司、江苏华永烯科技有限公司、江南大学、无锡华鑫检测技术有限公司、中国矿业大学、烯源科技无锡有限公司
起草人:
杨永强、丁海龙、区炳显、谢一麟、陈武魁、刘禹、魏宁、呼志跃、王云超、王勤生、马龙、李璐、屈晓兰、陈辉、秦继恩