GB/T 4855-1984
废止
GB/T 32815-2016
现行
国家标准
GB/T 32815-2016 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范
GB/T 32815-2016 Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process
基本信息
标准编号:
GB/T 32815-2016
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
微电路
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2016-08-29
实施日期:
2017-03-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
页数:
24 页
适用范围
本标准规定了采用体硅压阻工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。
本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于背腔腐蚀和硅玻璃键合的体硅压阻加工工艺的加工和质量检验。
研制信息
起草单位:
北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、东南大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司
起草人:
张大成、王玮、李海斌、杨芳、黄贤、何军、刘冲、刘伟、周再发、刘军山、李婷、姜博岩