GB/T 4855-1984
废止
GB/T 33922-2017
现行
国家标准
GB/T 33922-2017 MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法
GB/T 33922-2017 Wafer level test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive die performances
基本信息
标准编号:
GB/T 33922-2017
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
微电路
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2017-07-12
实施日期:
2018-02-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
页数:
11 页
适用范围
本标准规定了MEMS压阻式压力敏感芯片（简称压力敏感芯片)的术语和定义、试验条件、试验的一般规定、试验内容和方法。本标准适用于闭环和开环MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验。
研制信息
起草单位:
北京大学、中机生产力促进中心、北京必创科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学
起草人:
张威、程红兵、陈得民、李海斌、崔波、石云波、朱悦