GB/T 4855-1984
废止
GB/T 38446-2020
现行
国家标准
GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
GB/T 38446-2020 Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
基本信息
标准编号:
GB/T 38446-2020
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
微电路
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2020-03-06
实施日期:
2020-10-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
页数:
13 页
适用范围
本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。本标准适用于厚度在50 nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。
研制信息
起草单位:
北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司
起草人:
张威、李海斌、张亚婷、朱悦、夏长奉、石云波、陈得民、马书嫏、程红兵、周浩楠