GB/T 11093-1989
被代替
SJ/T 11502-2015
废止
行业标准-电子
SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范
SJ/T 11502-2015 SJ/T 11502-2015 Specification for polished silicon carbide single crystal wafers
基本信息
标准编号:
SJ/T 11502-2015
标准类型:
行业标准
标准状态:
废止
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
化合物半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2015-04-30
实施日期:
2015-10-01
发布单位/组织:
工业和信息化部
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
页数:
16 页
研制信息
起草单位:
中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院等
起草人:
丁丽、郑红军、蔺娴 等