T/CIE 117-2021 现行 团体标准

T/CIE 117-2021 MEMS器件机械冲击试验方法

T/CIE 117-2021 Mechanical shock test method for MEMS device

发布日期: 2021-11-22 实施日期: 2022-02-01 中国正版标准查询、采购、翻译等其他相关服务,请 联系我们
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基本信息

标准编号: T/CIE 117-2021
标准类型: 团体标准
标准状态: 现行
is_force_gb: no
中国标准分类名称: 微电路
国际标准分类名称: 集成电路、微电子学
发布日期: 2021-11-22
实施日期: 2022-02-01
发布单位/组织: 中国电子学会
归口单位: 中国电子学会可靠性分会
页数: 12 页

适用范围

本文件规定了MEMS器件在不加电、加电状态下的机械冲击试验方法的技术要求、试验程序和检验评价规则等。
本文件适用于MEMS器件的研制、生产和产品鉴定验收等阶段,目的在于评估MEMS器件在装卸、运输和使用环境中,由于瞬时受力或者运动状态突然发生变化而产生瞬间机械冲击时的抗冲击能力。适用的机械冲击脉冲宽度范围为0.05 ms~30 ms,峰值加速度范围为5g~30 000g。

研制信息

起草单位:

工业和信息化部电子第五研究所、东南大学、中国科学院微电子研究所

起草人:

黄钦文、来萍、董显山、苏伟、朱军华、恩云飞、王磊、焦斌斌

字数: 24 千字 页数: 12 页

引用标准

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