GB/T 11093-1989
被代替
T/CEMIA 023-2021
现行
团体标准
T/CEMIA 023-2021 半导体单晶硅生长用石英坩埚
T/CEMIA 023-2021 Silicon single crystal growth quartz crucible
价格:
$ 24.00
基本信息
标准编号:
T/CEMIA 023-2021
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子设备与专用材料、零件、结构件
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2021-07-15
实施日期:
2021-12-25
发布单位/组织:
中国电子材料行业协会
归口单位:
中国电子材料行业协会
页数:
16 页
适用范围
本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，规定了规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。
本文件适用于以高纯石英砂(成分：二氧化硅)为原料，采用电弧熔融法生产，用于半导体单晶硅生长的石英坩埚。
研制信息
起草单位:
内蒙古欧晶科技股份有限公司、锦州佑鑫石英科技有限公司、江西中昱新材料科技有限公司
起草人:
何文兵、陈曼、苏光都、杜兴林、李宗辉、王文庆、朱旦、李晓航、朱剑、徐晓军、王君伟、王慧、韩东、李秀英、钱宜刚、贾建亮、万鹏远、潘志华、杨军、周锐