GB/T 11093-1989
被代替
T/DZJN 299-2024
现行
团体标准
T/DZJN 299-2024 高纯多晶硅生产低碳清洁评价要求
T/DZJN 299-2024 The production of high-purity polycrystalline silicon requires low-carbon and clean evaluation criteria for production
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/DZJN 299-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2024-09-10
实施日期:
2024-09-13
归口单位:
中国电子节能技术协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了高纯多晶硅生产低碳清洁的硅烷流化床工艺与改良西门子工艺及其对比、多晶硅单位产品能源消耗限额、高纯多晶硅生产低碳指标、检测与过程控制、主要装置、主要原料、劳动安全与职业卫生、运行与维护等要求。本文件适用于我国多晶硅企业的生产审核、生产绩效评定和生产绩效公告制度，其他新建或改扩建项目环境影响评价、环保核查、行业准入等可参考使用
研制信息
起草单位:
上海协鑫元工业设计有限公司、合盛硅业股份有限公司、青海丽豪半导体材料有限公司、内蒙古鑫元硅材料科技有限公司、东方电气（乐山）峨半高纯材料有限公司、湖南立新硅材料科技有限公司、万向新元科技股份有限公司、新疆东方希望新能源有限公司、江苏美科太阳能科技股份有限公司、内蒙古新特硅材料有限公司、昆明理工大学、新疆大全新能源股份有限公司、内蒙古大全新能源有限公司、新疆其亚硅业有限公司
起草人:
曹军、周恩深、浩瀚、程渝峰、张立、赵小飞、黄俊、李力、李咸江、汪海燕、何家壅、王幸丽、朱业胜、董志远、周书红、罗朝阳、吴纪清、杨磊、宋高杰、范协诚、马文会、潘学军、王西玉、罗佳林、邓远红、陈文吉、朱国平、孙永仕、赵帅、裴雅晨、陶睿