GB/T 11093-1989
被代替
T/CNIA 0103-2021
现行
团体标准
T/CNIA 0103-2021 绿色设计产品评价技术规范 电子级氯硅烷
T/CNIA 0103-2021 Green Design Product Evaluation Technical Specification for Electronic Grade Chlorosilane
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CNIA 0103-2021
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2021-03-19
实施日期:
2021-09-01
归口单位:
中国有色金属工业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了电子级氯硅烷绿色设计产品评价的评价要求、产品生命周期评价报告编制方法以及评价方法和流程。本文件适用于以工业氯硅烷产品为原料，精制提纯而生产的电子级氯硅烷（包含电子级的三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅、六氯乙硅烷）绿色设计产品的评价
研制信息
起草单位:
洛阳中硅高科技有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、南京国盛电子有限公司、多晶硅材料制备国家工程实验室、青海芯测科技有限公司
起草人:
万烨、赵雄、严大洲、张园园、郭树虎、刘见华、赵宇、常欣、秦榕、骆红、王芳、秦琴、申梅桂、任传宗、袁振军、张冠峰