GB/T 11093-1989
被代替
T/CZSBDTHYXH 001-2023
现行
团体标准
T/CZSBDTHYXH 001-2023 半导体晶圆缺陷自动光学检测设备
T/CZSBDTHYXH 001-2023 Semiconductor wafer defect automatic optical inspection equipment
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CZSBDTHYXH 001-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2023-08-08
实施日期:
2023-08-09
归口单位:
常州市半导体行业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了半导体晶圆缺陷光学检测仪的术语和定义、产品型号、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求
研制信息
起草单位:
江苏维普光电科技有限公司、常州市半导体行业协会、国家半导体照明产品质量检验检测中心（江苏）（常州检验检测标准认证研究院）、常州工学院
起草人:
刘建明、刘庄、张彦鹏、周佼、王宏才、郭魂、张鸣杰