GB/T 11093-1989
被代替
T/SHDSGY 160-2022
现行
团体标准
T/SHDSGY 160-2022 非接触式硅片传输装置技术规范
T/SHDSGY 160-2022 Non-contact Silicon Wafer Transfer Device Technical Specification
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/SHDSGY 160-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2022-11-30
实施日期:
2022-11-30
归口单位:
上海都市型工业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了非接触式硅片传输装置的术语和定义、技术要求、方案、图纸、性能参数、使用说明书、检验要求、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于非接触式硅片传输装置技术规范
研制信息
起草单位:
上海睿范自动化设备有限公司、熙卓电子科技（上海）有限公司、北京易讯恒通科技有限公司
起草人:
尉世卓、陈刚、龙万容