GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 4061-2009
现行
国家标准
GB/T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
GB/T 4061-2009 Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion
基本信息
标准编号:
GB/T 4061-2009
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属与半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2009-10-30
实施日期:
2010-06-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
页数:
4 页
适用范围
本标准规定了以三氯氢硅和四氯化硅为原料在还原炉内用氢气还原出的硅多晶棒的断面夹层化学腐蚀检验方法。
本标准关于断面夹层的检验适用于以三氯氢硅和四氯化硅为原料，以细硅芯为发热体，在还原炉内用氢气还原沉积生长出来的硅多晶棒。
研制信息
起草单位:
洛阳中硅高科技有限公司
起草人:
袁金满