GB/T 11093-1989
被代替
T/CASME 2000-2025
现行
团体标准
T/CASME 2000-2025 半导体外延用碳化硅涂层石墨基座技术规范
T/CASME 2000-2025 Technical specification for graphite baseplate with silicon carbide coating used for semiconductor epitaxy
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CASME 2000-2025
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
冶金
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2025-06-06
实施日期:
2025-07-06
归口单位:
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于以高纯等静压石墨为基材，经加工、纯化、化学气相沉积、表面处理、清洗等工艺过程制备的超高纯半导体外延用碳化硅石墨基座制品; 主要技术内容:本文件规定了半导体外延用碳化硅涂层石墨基座的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、包装、运输和贮存等内容
研制信息
起草单位:
湖南德智新材料股份有限公司、成都方大炭炭复合材料股份有限公司、江苏宏基高新材料股份有限公司、湖南泰坦未来科技有限公司、广东天域半导体股份有限公司、安徽凯威半导体科技有限公司、河南锐瓷科技有限公司、辽宁汉京半导体材料有限公司、内蒙古京航特碳科技有限公司、广东精瓷新材料有限公司、通标国华标准技术咨询（北京）有限公司、华兴中科标准技术（北京）有限公司
起草人:
余盛杰、廖家豪、窦坤鹏、赵世贵、杨波、朱刚、李江涛、盛后泉、杨捷、孙威、邓南军、丁雄杰、刘薇、朱亦辉、刘涛涛、李庆甲、杨延辉、陈闻杰、李华、任国静、张亚栋