GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 16596-1996
被代替
国家标准
GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范
GB/T 16596-1996 Specification for establishing a wafer coordinate system
基本信息
标准编号:
GB/T 16596-1996
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属物理性能试验方法
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
1996-11-04
实施日期:
1997-04-01
发布单位/组织:
国家技术监督局
归口单位:
中国有色金属工业总公司标准计量研究所
页数:
5 页
研制信息
起草单位:
中国有色金属工业总公司标准计量研究所
起草人:
吴福立
被以下标准替代
引用标准
GB/T 12964-1996
G/BT 16595-1996
采用标准
SEMI M20-1992