GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 16596-2019
现行
国家标准
GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范
GB/T 16596-2019 Specification for establishing a wafer coordinate system
基本信息
标准编号:
GB/T 16596-2019
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属与半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2019-03-25
实施日期:
2020-02-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
5 页
适用范围
本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序。本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。
研制信息
起草单位:
有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、上海合晶硅材料有限公司
起草人:
卢立延、孙燕、潘金平、杨素心、楼春兰、胡金枝、李素青