GB/T 14140.1-1993
被代替
GB/T 19922-2005
现行
国家标准
GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法
GB/T 19922-2005 Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning
基本信息
标准编号:
GB/T 19922-2005
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类名称:
金属材料试验综合
发布日期:
2005-09-19
实施日期:
2006-04-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会
页数:
9 页
研制信息
起草单位:
洛阳单晶硅有限责任公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
起草人:
史舸、蒋建国、陈兴邦、贺东江、王文、邓德翼