GB/T 11093-1989
被代替
YS/T 985-2014
现行
行业标准-有色金属
YS/T 985-2014 硅抛光回收片
YS/T 985-2014 Polished reclaimed silicon wafers
基本信息
标准编号:
YS/T 985-2014
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属与半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2014-10-14
实施日期:
2015-04-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
12 页
适用范围
本标准规定了硅抛光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片(主要包括100 mm、125 mm、150 mm和200 mm单面或双面抛光硅片、未抛光硅片或外延硅片)经单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。另外使用方需注意硅回收片的热历史、体沾污和表面沉积物情况。
研制信息
起草单位:
浙江金瑞泓科技股份有限公司
起草人:
何良恩、刘丹、许峰、张海英、孙燕、曹孜、王飞尧、楼春兰、徐新华
采用标准
SEMI M38-0307