GB/T 4855-1984
废止
GB/T 34893-2017
现行
国家标准
GB/T 34893-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法
GB/T 34893-2017 Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
基本信息
标准编号:
GB/T 34893-2017
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
微电路
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2017-11-01
实施日期:
2018-05-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
页数:
9 页
适用范围
本标准规定了基于光学干涉显微镜获取MEMS微结构表面形貌进行面内长度测量的方法。本标准适用于表面反射率不低于4%，宽深比不低于1∶10，且使用光学干涉显微镜能够获取形貌的MEMS微结构。
研制信息
起草单位:
天津大学、中机生产力促进中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、南京理工大学中国电子科技集团公司第十三研究所
起草人:
胡晓东、郭彤、于振毅、李海斌、程红兵、裘安萍、崔波、朱悦