GB/T 11093-1989
被代替
YS/T 1825-2025
即将实施
行业标准-有色金属
YS/T 1825-2025 集成电路用四甲基硅烷
YS/T 1825-2025 Silane, tetramethyl for integrated circuits
基本信息
标准编号:
YS/T 1825-2025
标准类型:
行业标准
标准状态:
即将实施
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属与半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2025-12-17
实施日期:
2026-07-01
发布单位/组织:
工业和信息化部
适用范围
本文件规定了四甲基硅烷的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于集成电路行业制造中使用的四甲基硅烷。
研制信息
起草单位:
起草人: