GB/T 11093-1989
被代替
T/IAWBS 021-2024
现行
团体标准
T/IAWBS 021-2024 碳化硅晶片边缘轮廓检验方法
T/IAWBS 021-2024 Checking method for edge profile of silicon carbide wafers
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/IAWBS 021-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属与半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2024-04-01
实施日期:
2024-04-09
归口单位:
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
适用范围
范围:本文件规定了碳化硅晶片边缘轮廓（包含切口）的检验方法。 本文件适用于检验倒角后碳化硅晶片的边缘轮廓（包含切口），其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行; 主要技术内容:本文件规定了碳化硅晶片边缘轮廓（包含切口）的检验方法。本文件适用于检验倒角后碳化硅晶片的边缘轮廓（包含切口），其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行
研制信息
起草单位:
北京天科合达半导体股份有限公司、江苏天科合达半导体股份有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、山东有研半导体材料有限公司
起草人:
佘宗静、彭同华、王大军、刘祎晨、王波、赵宁、张平、杨建、郑红军、蔡丽艳