GB/T 2596-1981
废止
GB/T 4058-1995
被代替
国家标准
GB/T 4058-1995 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
GB/T 4058-1995 Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers
基本信息
标准编号:
GB/T 4058-1995
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属无损检验方法
国际标准分类名称:
金属材料化学分析
发布日期:
1995-04-18
实施日期:
1995-12-01
发布单位/组织:
国家技术监督局
页数:
12 页
研制信息
起草单位:
峨嵋半导体材料厂
起草人:
吴道荣、王向东、胡政、刘文魁
替代以下标准
GB 4058-1983
GB 6622-1986
GB 6623-1986
被以下标准替代
引用标准
采用标准
ASTM F47-1988