GB/T 11093-1989
被代替
T/CASME 581-2023
现行
团体标准
T/CASME 581-2023 半导体用硅环技术要求
T/CASME 581-2023 Technical requirements for silicon ring used in semiconductors
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CASME 581-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
冶金
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2023-07-28
实施日期:
2023-08-01
归口单位:
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于8in～12in干法蚀刻28 nm以下（含28 nm）制程工艺; 主要技术内容:本文件规定了半导体用硅环的术语和定义、生产加工、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、贮存和运输方面的内容
研制信息
起草单位:
杭州睿昇半导体科技有限公司、杭州茂箐科技有限公司、温州静雅新材料技术有限公司
起草人:
丁鼎、陈燕、祝郑庆、董久琪