GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 24577-2009
现行
国家标准
GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
GB/T 24577-2009 Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography
基本信息
标准编号:
GB/T 24577-2009
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属与半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2009-10-30
实施日期:
2010-06-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
页数:
12 页
适用范围
1.1本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法，采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。1.2本标准描述了热解吸气相色谱仪（TD-GC）以及有关样品制备和分析的相关程序。
研制信息
起草单位:
信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人:
王奕、褚连青、李静
引用标准
ASTM D6196
采用标准
SEMI MF 1982-1103